晶圆包装和拆包

功能:

实现 Wafer 在Cassette 、 from Canister、Canister之间的周转 。

参数:

◆ OCR 读码器

◆ 对Cassette内进行晶圆有无检测

◆ 可检测是否是纸张、晶圆、及大于1mm破损

◆ 高度传感器确定晶圆或者纸张高度,实现精准取放物料

◆ 晶元尺寸:4-8寸Wafer

◆ Cassette to cassette  150wafers

◆ Cassette <> canister  90wafers

◆ Canister <> canister   70wafers

应用:

4-8寸Wafer晶圆的上下料、转包装等

推荐产品